2024산업통상자원부
온도 제어 ±0.01℃ 이내 고정밀 환경 컨트롤 유닛, 측정시스템 연동 하드웨어 및 패턴 보정 자동화 기술 개발
High precision environmental control unit within 0.01 temperature control, Development of technology for automation of hardware and pattern correction linked to measurement system
[최종목표] ㅇ 온도제어 ≤ ±0.01℃ 이내 고정밀 환경컨트롤 유닛 개발 ㅇ 환경컨트롤 유닛 개발 : 챔버/공조기/칠러/분배기 4종 ㅇ 유닛별 측정시스템 기반의 패턴 자동 보정 기술 개발 - 얼라인 카메라를 이용한 off-axis 실시간 정렬 시스템 개발 - MRU 카메라를 이용한 광학계간 초점 및 위치제어기술개발 - 패턴 왜곡 및 오버레이 자동 보정 기술 개발 ㅇ 측정시스템 …
- 총 연구비
- 34.1억원 과제 3건 (수행기관 3곳)
- 연구 기간
- 4년 6개월수행 중 (D-802)2024-07-01 – 2028-12-31
- 적용분야
- 주관기관
영은시스템
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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