웨이퍼 규모의 2D 소재 기반 단일체 3D 비 폰 노이만 시스템을 위한 고유전율 페로브스카이트 산화물 집적법 개발

High-k Perovskite Oxide Integration for Wafer-scale 2D Material-Based Monolithic 3D Non-von Neumann Systems

본 연구과제에서는'웨이퍼 규모의 2D 소재 기반 단일체 3D 비 폰 노이만 시스템을 위한 고유전율 페로브스카이트 산화물 집적'을 목표로 진행할 계획이며, 세부 사항으로 (1) 2D 반도체/페로브스카이트 유전체 물질 이종 접합 공정 진행, (2) 다층으로 구성된 트랜지스터의 집적 및 동작 확인, 그리고 (3) 비 폰 노이만 M3D 시스템의 컴퓨팅 성능 검증으...