광학물리-인공지능 융합 설계 기반 대면적 반도체·디스플레이 검사용 고속·고심도 Line-Scan 산술 광학 영상 시스템 개발

AI-optics co-designed computational line-scan imaging platform for depth-enhanced, high-throughput inspection of large-area semiconductor and display panels

고단차 소자가 탑재된 대면적 반도체/디스플레이 기판 대상 10배 이상 향상된 심도에서 고속,고해상도 검사가 가능한, Line-Scan 산술 다중광학 영상 시스템 개발을 목표로 함. 본 창업기업이 독자적으로 보유하고 있는 광학물리-인공지능 기반 통합적 설계 기술을 활용하여, Line-Scan 영상 심도를 10배 이상 향상시킬 수 있는 이진 광위상 구조와 영상...