와이드 밴드갭 산화물 이종접합 에피 박막 기반 실시간 DUV 이미지 센서 어레이 개발

Wide bandgap oxide heterostructure epitaxial thin films for real-time DUV image sensor array

본 연구는 Ga2O3 기반 DUV 센서가 갖는 감도-응답속도 트레이드오프(R-S 딜레마)와 단일 소재 기반 구조의 한계를 극복하기 위해, 계면 기능이 분리된 이종접합 기반의 고감도 및 고속 DUV 이미지 센서를 개발하고, 최종적으로 어레이 집적 및 회로 연계가 가능한 실시간 DUV 이미지 센서 플랫폼을 구현하고자 한다. 이를 위해 이차원 가스, PN 접합,...