클린룸 PKG용 시트(POD) ESD-Protective 성능 고도화 (SDCP 기반 고안정성 케미컬 및 자동화 공정 시스템 개발)

Enhancement of ESD-Protective Performance for Cleanroom Packaging Sheets (POD): Development of SDCP-based High-Stability Chemicals and Automated Process Systems

1) 최종목표(End Goal)반도체 첨단 후공정/첨단 패키징 장비 구동부에 적용되는 클린룸 PKG용 POD를 대상으로, ESD-Protective 성능 및 초저분진(IPA 1등급) 성능을 동시에 만족하는 양산 제품/공정을 확보하고 고객사 양산 승인(Qualified) 획득2) 최종 산출물(Deliverables) - SDCP 기반 ESD 케미컬 레시피(농도...