생성형 AI를 이용한 웨이퍼 제조공정 업무통합 AI 솔루션 개발

Development of an Integrated AI Solution for Wafer Manufacturing Process Operations Using Generative AI

반도체 웨이퍼 제조 공정의 공정·품질·공급망 데이터를 통합 분석하는 생성형 AI 기반 자율제조 통합 솔루션 개발 및 실 제조라인 실증 (TRL 7) ㅇ AI 기반 품질향상 20% 이상 달성을 핵심 KPI로, ① 공급망생산계획 통합 최적화, ② 포토공정 외관검사 불량 요인 자율 분석·제어, ③ 설비별 공정 파라미터 최적화, ④ AMR 기반 원격 자동화, ⑤ 생...