2024산업통상부
4,000ppi 이상의 마이크로 OLED 패널 제조를 위한 포토리소그래피 및 증착 공정 최소화 기술 개발
Development of photolithography and deposition process minimization for manufacturing photolithographic patterning micro OLED panels above 4,000ppi
ㅇ Si 웨이퍼 기반 포토리소그래피, 증착, 식각 공정을 이용한 공정 단계 최소화 4,000ppi급 1인치(대각선) 크기 R/G/B Color 마이크로 OLEDoS 프론트 패널 제조 기술 개발 ㅇ OLED 화소 형성 공정과정에서 유기물 증착층을 후속공정 및 외부 환경(수분, 산소)으로부터 보호하는 박막 봉지층 형성 공정 및 재료 개발 ㅇ 포토리소그래피, 증착, 식각 공정 단계를 최소화 할…
- 총 연구비
- 49.5억원 과제 2건 (수행기관 8곳)
- 연구 기간
- 1년 9개월수행완료2024-04-01 – 2025-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
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과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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