지원 자격

• 전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업

지원 내용

• 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발
• 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원
• EUV PR 소재 물성 평가 후 결과 분석 및 공정 최적화
• EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공
• 시제품 제작 및 기술 지도
• 물성 평가 지원
• 1기업당 최대 15,000천원 이내 지원
• 지원기간 협약일로부터 ~ 2026. 11. 20.
• 지원 분야 EUV 소재 합성 공정 개발 기술 지원
• 지원 장비 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응 시스템, 연속 흐름 반응 시스템, HPLC, 나노입도 분석기, 분산 안정도 측정기, 수분 측정기, 오토클레이브, 다중 결정화 스크리닝 시스템

첨부파일