

반도체 8대 공정 중 식각 공정에 사용할 수 있는 차세대 ALE(Atomic Layer Etching) 장비


반도체 공정에서 온도를 안정적으로 제어하는 온도 조절 장치

인공지능 모델 학습과 모델을 통한 추론에 최적화된 시스템 반도체 (리벨)

차세대 반도체 열처리 공정 기술 기반 반도체 열처리 장비

CVD 공정으로 금속, 산화물 등 다양한 재료를 Si 웨이퍼, 글라스, 메탈, 플라스틱 기판에 나노 두께로 정밀 코팅하는 서비스

실리콘 포토닉 집적 장치 및 기능성 포토닉 장치

극저온 진공펌프 시스템

전력반도체용 AIN 기반 화합물 반도체 에피웨이퍼

TGV, 메탈라이징 공정이 적용된 고성능 반도체 유리기판