2024산업통상자원부
다공성 멤브레인 표면 보호 코팅 공정 개발 및 고성능 EUV 펠리클 부품기술 개발
Development of Porous Membrane Surface Coating Process and High-performance EUV Pellicle Technology
[최종목표] ㅇ 다공성 멤브레인 표면 코팅 공정 개발 및 고성능 EUV 펠리클 기술 개발[1차년도 목표] ㅇ 코팅 CNT 펠리클의 EUV 광 및 열 특성 평가 및 분석 ㅇ 코팅 CNT 펠리클의 제조 기술 기초 개발 ㅇ 펠리클용 탄화물/질화물 코팅막 소재 후보 탐색[2차년도 목표] ㅇ 코팅 CNT 펠리클의 EUV/열/기계 특성 분석 ㅇ 코팅 CNT 펠리클의 제조 기술 ...
- 총 연구비
- 27.6억원 과제 3건 (수행기관 2곳)
- 연구 기간
- 3년 7개월수행 중 (D-552)2024-06-01 – 2027-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
02
기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
연도별 과제 금액과 건수를 확인해 보세요
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