디스플레이 공정 배출가스 2,000LPM급 오염물질 전처리 제거 모듈 및 고성능 NOx 흡수 후처리 모듈 개발

Development the Pre-pollutants treatment module and NOx adsorbent post treatment module with 2,000 LPM Capacity for the process emission in the Display Manufacturing

디스플레이 증착공정에서 배출되는 가스 중 복합 오염물질을 제거하는 방법 가운데 촉매 산화법의 경우 2가지 문제가 존재함. 첫 번째는 디스플레이 증착공정의 배출가스는 대부분 산성가스와 powder를 포함하고 있어 처리 효율과 수명이 단축되며, 두 번째는 촉매 산화 이후 배출되는 NOx 가스 배출 문제임. 이러한 문제를 해결하기 위해서 1차적으로 사이클론 형...