2022기획재정부
Carbon free 달성을 위한 PFCs N2O 처리용 연소기술 및 촉매 적용 핵심 기술 개발
Development of combustion technology and catalyst application core technology for greenhouse gas (PFCs N2O) abatement to achieve carbon free
ㅇ 수소를 주요 연료로 하는 연소기 조사 및 설계/성능평가 ㅇ Catalytic reaction chamber 설계 및 성능 평가 ㅇ 반도체 생산 공정에서 발생하는 powder 제거공정 검토 ㅇ Powder 처리를 위한 전처리 및 집진기술 선정 및 평가 ㅇ Wet tower 공정 구성을 위한 설계(안) 도출 ㅇ CF4, N2O 저감 촉매 레시피 개발을 위한 핵심소재 선정 ㅇ N2O 저감 촉매…
- 총 연구비
- 14.7억원 과제 3건 (수행기관 3곳)
- 연구 기간
- 2년 9개월수행완료2022-04-01 – 2024-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
02
기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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