2024산업통상자원부
유전율 100 이상 세라믹 다원계 유전체 박막 조성 및 전구체 개발
Development of Precursors and Multi-element Dielectric Thin films with a dielectric constant exceeding 100
- 2 μF/mm2급 고용량 실리콘 커패시터 구현을 위해 유전율 100 이상의 특성을 지니는 Bi-Zn-Nb(BZNO)계 pyrochlore 구조 및 X-Ti계(SrTiOx, AlTiOx ) perovskite 구조 기반 다원계 유전체 박막 소재 개발을 1세부 목표로 함. - 나아가 최종 선정된 다원계 유전체 매트릭스를 활용해 도핑 및 멀티컬러 유전체, 세...
- 총 연구비
- 37.2억원 과제 3건 (수행기관 5곳)
- 연구 기간
- 4년 3개월수행 중 (D-918)2024-10-01 – 2028-12-31
- 적용분야
- 주관기관
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연구 내용
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기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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