2024다부처
반도체 소자용 CMP 부품의 AI 자율제조 기반 생산공정 및 시스템 개발
Development of production process and system based on AI autonomous manufacturing of CMP components for semiconductor devices
ㅇ AI 자율제조 시스템을 통한 CMP 디스크의 제조 공정의 자동화 및 최적화를 달성하여 생산 효율성 및 품질 안정성을 향상시키는 제조 공정 솔루션 개발하여 생산 효율성 및 품질 안정성을 향상/유지하는 제조공정 솔루션 개발 - 자율 제조 공정을 위한 핵심 데이터 수집 및 AI 기반 불량 예측 모델 설계 - 데이터 수집 시스템 및 AI 모델의 현장 구축과 최적화 - AI 자율 제조 시스템…
- 총 연구비
- 38.2억원 과제 2건 (수행기관 3곳)
- 연구 기간
- 3년 4개월수행 중 (D-552)2024-09-01 – 2027-12-31
- 적용분야
- 주관기관
신한다이아몬드공업
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연구 내용
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기대 효과
03
과제 분석
연도별 과제금액 · 건수
인력 비율
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