수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 석영유리 대비내수소 저항성이 2배 높은 다성분계 비정질 세라믹 소재 기술개발

Development of surface modification and recycling regeneration restoration technology for more than two times the longevity of amorphous ceramic materials for semiconductor annealing process equipment...

[최종목표] ㅇ 수소를 포함하는 반도체 플라즈마 어닐링 공정 장비용 석영유리 대비 내수소 저항성이 2배 높은 다성분계 비정질 세라믹 소재 기술개발 [1차년도 목표] ㅇ HRG 소재 용융, 성형 기술 및 제조 장비 조사 및 설계 ㅇ 내 수소 또는 내 수소 플라즈마성 유리 소재 조성계 탐색 (내 수소 또는 내 수소 플라즈마성 유리 = Hydrogen Resistance Gl…