2차 Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 사업 지원기업 모집 공고
마감
R&D · 시험 · 인증
대전테크노파크
정부
조회수
-
공고 등록일
2025-08-22
접수 시작일
2025-08-22
접수 마감일
2025-10-31
지원 자격
- EUV 소재부품장비 관련 기업
지원 내용
- EUV 소재부품장비 관련 기업 지원
- 시제품 제조, 공정최적화 기술지도, 물성평가 지원
- EUV 소재 제조공정 고도화 및 상용화 기술지원
- 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원 (15,000천원 내외)
- 기술지원은 일괄로 지원되며 개별적으로 선택 불가
- 공정 데이터 제공 및 결과보고서 제출