2026년도 반도체 가스·챔버 기반조성 신규사업 시행계획 통합 공고
D-28
사업화 · 자금지원

한국산업기술진흥원
정부
조회수
-
공고 등록일
2026-03-24
접수 시작일
2026-03-24
접수 마감일
2026-04-23
지원 자격
- 주관연구개발기관 단독 또는 컨소시엄
- 공동연구개발기관: 연구기관, 대학 등 비영리기관 및 기업
지원 내용
- 반도체 가스 및 챔버 분야 기반조성 사업 지원
- 연구개발비 지원 (총연구개발비의 70% 이내)
- 연구개발 기간 동안의 지원
- 과제별 제안요청서(RFP) 참조
- 연구개발비는 건축비를 제외한 총연구개발비의 70% 이내에서 지원
- 정부지원연구개발비는 회계연도에 따라 연차별 지급
